在8in(200mm)以上的IC生產(chǎn)線
在8in(200mm)以上的IC生產(chǎn)線,也應(yīng)對(duì)混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)電子級(jí)高純氣體和電子混合氣體都有一定的標(biāo)準(zhǔn),但我國(guó)在此領(lǐng)域尚屬空白,而國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)電子混合氣體的需求無(wú)論在“質(zhì)”與“量”上都有很高的要求,因此,探討電子混合氣體的配制等相關(guān)技術(shù)十分必要。林德公司近來(lái)贏得了一份合同,計(jì)劃向德國(guó)某某公司的太陽(yáng)能電池模型工廠供應(yīng)工業(yè)高純氣體。電子高純氣體充裝壓力是用戶和供應(yīng)商十分關(guān)...