隨著現(xiàn)代微電子工業(yè)的不斷發(fā)展
隨著現(xiàn)代微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)高純氣體氖氣的純度要求也越來(lái)越高,已達(dá)到99.999%目前國(guó)內(nèi)關(guān)于氖的標(biāo)準(zhǔn)只有GB/T 17873—1999《純氖》,氖氣純度最高為99.995%。高純氣體氖氣的實(shí)驗(yàn)儀器與樣品標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)實(shí)驗(yàn)選用了GC-122型氣相色譜,上海儀器分析總廠;熱導(dǎo)檢測(cè)器(TCD);色譜工作站,N2000,浙江大學(xué)智能信息工程研究所。氖氣比氮?dú)獾姆悬c(diǎn)還要低,所以制成的氖氣都會(huì)含有微量的氦...