六氟化硫(SF6)
六氟化硫為無色、無味、不燃燒，無電抗性的，相對無毒、僅有窒息性的液化氣體。
主要應用于電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等氣的絕緣體，致冷劑、示蹤裝置、醫(yī)療、半導體制造中的蝕刻、化學相淀積、標準氣、檢漏氣體、色譜儀的載氣。
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