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電子氣體(電子氣體)
* 來(lái)源: * 作者: * 發(fā)表時(shí)間: 2020/08/28 1:25:24 * 瀏覽: 126
物理和化學(xué)性質(zhì):電子氣體(Electronicgases):氣體工業(yè)術(shù)語(yǔ),半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。按其類別可分為三類:純氣體,高純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝,高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的重要分支。根據(jù)純度等級(jí)和使用場(chǎng)合,電子氣可以分為電子級(jí),LSI(大型集成電路)級(jí),VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)。
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