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電子氣體(電子氣體)
* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2020/08/28 1:25:24 * 瀏覽: 138
物理和化學性質:電子氣體(Electronicgases):氣體工業(yè)術語,半導體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。按其類別可分為三類:純氣體,高純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝,高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的重要分支。根據(jù)純度等級和使用場合,電子氣可以分為電子級,LSI(大型集成電路)級,VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(超大規(guī)模集成電路)級。
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