物化性質(zhì) :
電子氣體(Electronicgases):
氣體工業(yè)名詞,半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱(chēng)電子氣體。按其門(mén)類(lèi)可分為純氣,高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類(lèi)。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合,可分為電子級(jí),LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí),VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。