六氟化硫(SF6)
六氟化硫?yàn)闊o(wú)色、無(wú)味、不燃燒,無(wú)電抗性的,相對(duì)無(wú)毒、僅有窒息性的液化氣體。
主要應(yīng)用于電子設(shè)備、雷達(dá)波導(dǎo)、粒子加速器、變壓器、避雷器等氣的絕緣體,致冷劑、示蹤裝置、醫(yī)療、半導(dǎo)體制造中的蝕刻、化學(xué)相淀積、標(biāo)準(zhǔn)氣、檢漏氣體、色譜儀的載氣。