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高純氫中微量烴污染的分析與測定方法

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2020/05/22 0:44:20 * 瀏覽: 3
高純氫氣廣泛用于電子工業，石油化工，金屬冶煉，國防前沿和科研等領域。也可用作制備標準氣體的原料氣和色譜用載氣。 。隨著科學技術的飛速發展，科學實驗和工業產品的生產，特別是某些高科技產品，例如超大型集成電路和光電產品，要求嚴格控制氫的純度及其雜質含量，要求將O2，H2O，HTC（總烴），CO，CO2等雜質提純至10-9-10-12，用于有色金屬的冶煉加工，硅鋼，帶鋼的生產，精密合金和浮法玻璃都需要使用純度約為99.999％的氫氣，天然氣工業中的氣體分析和氣體凈化需要純氫氣。目前，工業化生產的大部分工業氫氣都應經過化學處理，以滿足各行各業的需要。氫的純化方法主要包括化學吸收法，催化反應法，選擇性吸附法和膜分離法。測定總烴的方法和原理在氣相色譜分析和檢測過程中，氣相色譜儀對所用氣體的純度有更高的要求。為了滿足工作要求并延長儀器的使用壽命，所用氣體的純度應等于或略高于儀器自身對氣體純度的要求，否則，如果不滿足要求的低純度氣體使用該要求，將導致一系列不利影響。另外，在硅外延期間，氫氣與加熱的硅襯底的表面上的四氯化硅或三氯化硅反應，還原硅并將其沉積在硅襯底上以形成外延層。在上述過程中，氫的純度非常高。如果烴含量太高，則會生成碳化硅，從而在外延層中引起星形缺陷。因此，有必要對高純度氫中所含的總烴進行有針對性的監測。中國國家標準推薦的氣體中總烴的測定方法是叉車火焰電離法，目前大多數實驗室都在使用。此方法的工作原理：樣品進入電離室后，在氫火焰的高溫下被電離以生成陽離子。由于離子數量與被測組分的含量成正比，因此可以通過工作站（或記錄儀）確定并記錄其含量。相應組分的色譜峰?；鹧骐婋x檢測器上總碳氫化合物的響應信號是各種碳氫化合物信號的總和。到目前為止，除了食品級二氧化碳的國家標準（該標準規定以甲烷計算總碳氫化合物）外，對于其他氣體中的總碳氫化合物還沒有統一的基準。這里，甲烷也用作參考物質，并且分析結果以甲烷計算。氫氣是易燃的壓縮氣體。存放在陰涼通風的倉庫中。倉庫中的溫度不應超過30℃。遠離火和熱。防止陽光直射。應與氧氣，壓縮空氣，鹵素（氟，氯，溴），氧化劑等分開存放。避免混合存放和運輸。儲藏室的照明，通風和其他設施應防爆。交換機應位于倉庫外部，并配備相應品種和數量的消防設備。禁止使用容易產生火花的機械設備和工具。在驗收期間，請注意產品名稱和瓶子檢查的日期。先使用高級倉庫。在搬運過程中要輕拿輕放，以免損壞鋼瓶和配件。