熏蒸氣體（SterilizingGases）：具有殺菌作用的氣體稱為熏蒸氣體。常用的氣體包括環氧乙烷，膦，溴甲烷，溴甲醛和環氧丙烷。滅菌原理是使微生物組織中必不可少的物質惰性化以維持生命。最常用的是按不同比例配制的環氧乙烷和二氧化碳的混合物。取決于應用，環氧乙烷的含量可以為10％，20％和30％。也可以使用環氧乙烷和氟利昂12的混合物以及環氧乙烷和氟利昂11和氟利昂12的混合物。殺菌效果與各個成分的濃度，溫度，濕度，時間和壓力等因素有關。熏蒸劑可用于衛生材料，醫療設備，化妝品原料，動物飼料，谷物，紙幣和辛辣原料。